Шкала

двухкоординатная фазовая решетка типа DIADUR с реф. меткой на носителе из стали

Коэф. термического расширения

α_therm = 10 · 10^-6 K^-1

Класс точности

± 1 мкм в продольном направлении
± 1,5 мкм в поперечном направлении

Диапазон измерения в поперечном направлении
Диапазон измерения в продольном направлении

420 мм, 520 мм, 720 мм, 1020 мм, 1220 мм, 1520 мм

± 1 мм

Референтные метки

в начале длины измерения

Выходные сигналы

1 V_SS

Период сигнала

4 мкм в продольном и поперечном направлениях (ортогонально)

Рекомендованный шаг измерения

≥ 0,001 мкм (с IK 220)

Напряжение питания

5V ±5%/< 100 мA (на каждую ось)

Электрическое подключение

• кабель 0,5 м с Sub-D-штекером (15-полюсный); обрабатывающая электроника интегрирована в штекер
• отдельный кабель длиной 3м для подключения к IK 220

Макс. скорость перемещения

≤ 80 м/мин

Монтаж

магнитом на плоской поверхности; в качестве принадлежности - уголок

Аппаратное обеспечение (опция)

устройство цифровой индикации ND 281B или плата сопряжения для ПК IK 220

Программное обеспечение (опция)

ACCOM

Масса

шкала ca. 340 г + 6,7 г/мм ML
считывающая головка около 1,86 кг