KGM 181

KGM 182

Шкала

двухкоординатная фазовая решетка типа TITANID на носителе из стекла

двухкоординатная фазовая решетка типа TITANID на носителе из стекла

Коэф. термического расширения

α_therm = 8 · 10^-6 K^-1

α_therm = 8 · 10^-6 K^-1

Класс точности

± 2 мкм

± 2 мкм

Диапазон измерения

ø 140 мм

ø 230 мм

Выходные сигналы

1 V_ss

1 V_ss

Период сигнала

4 мкм в направлении измерения I и II

4 мкм в направлении измерения I и II

Рекомендованный шаг измерения

≥ 0,001 мкм (IK 220)

≥ 0,001 мкм (IK 220)

Напряжение питания

5V ±5%/< 100 мA (на каждую ось)

5V ±5%/< 100 мA (на каждую ось)

Крепление

считывающая головка ø 20h7

считывающая головка ø 20h7

Макс. скорость перемещения

≤ 80 м/мин

≤ 80 м/мин

Аппаратное обеспечение (входит в стандартную поставку)

плата сопряжения IK 220

плата сопряжения IK 220

Програмное обеспечение (входит в стандартную поставку)

ACCOM

ACCOM

Электрическое подключение

• кабель 0,5 м с Sub-D-штекером (15-полюсный); обрабатывающая электроника интегрирована в штекер

• отдельный кабель длиной 3м для подключения к IK 220

• кабель 0,5 м с Sub-D-штекером (15-полюсный); обрабатывающая электроника интегрирована в штекер

• отдельный кабель длиной 3м для подключения к IK 220

Масса

Измерительная плита около 4,0 кг
Считывающая головка около 0,6 кг

Измерительная плита около 3,1 кг
Считывающая головка около 0,6 кг