Прецизионные шкалы - основа высокой точности
Самой важной частью измерительных приборов фирмы HEIDENHAIN является шкала, которая, в большинстве случаев, представляет собой штрихи с периодом от 0,25 мкм до 10 мкм. Эти прицизионные шкалы изготавливаются одним из методов, изобретенных фирмой HEIDENHAIN (например, ДИАДУР или АУРОДУР), и являются определяющим фактором конечной точности измерительных приборов. Шкала состоит из штрихов и зазоров, расстояния между которыми имеют лишь небольшие отклонения друг от друга, а профиль которых имеет очень ровные и четкие края. Подобные шкалы очень стойкие к механическим и химическим воздействиям, а также нечувствительны к нагрузке, вибрациям и толчкам, кроме того, они обладают известными термическими свойствами.
Phase gratings | Используя специальные производственные процессы изготавливаются трехмерные решетки, обладающие особенными свойствами. Ширина их делений лежит в пределах от нескольких микрометров до четверти микрометра. |
SUPRADUR | Деления, изготовленные методом СУПРАДУР внешне выглядят также, как и трехмерные фазовые решетки, но у них гладкая поверхность и поэтому они нечувствительны к загрязнениям. |
MAGNODUR | В качестве носителя шкалы, выполненной методом МАГНОДУР, используется магнетизированный сплав стали. Специальной записывающей головкой на него наносятся сильные магнитные поля противоположной полярности. Таким образом получаются штрихи положительной и отрицательной полярностей. |
DIADUR | Прецизионные шкалы выполненные методом ДИАДУР изготовляются путем нанесения очень тонкого слоя хрома на носитель, в большинстве случаев - это стекло или стеклокерамика, причем точность делений лежит в пределах микрометров или лучше. |
AURODUR | Шкала выполненная методом АУРОДУР состоит из рефлектирующих золотых штрихов и вытравленных матовых зазоров. Деления типа АУРОДУР наносятся чаще всего на носители из стали. |
METALLUR | Шкалы, выполненные методом МЕТАЛЛУР, обладают практически гладкой поверхностью благодаря особой оптической структуре из рефлектирующих золотых слоев. Благодаря этому они не чувствительны к загрязнениям. |